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水性防腐漆材料的光学特性 |
来源:水性防腐漆 |
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波导器件温度波长效应高以及缺乏高效水性防腐漆、低成本的波导制备工艺等,制约着掺锗石英平面波导的充分商业化和普及应这些问题或许可能通过以下方法得到解决研发基于石英基底的石英平面光波器件即石英基石英平而光波器件,并设计通过掺杂等来显著提高波导芯材料的光学特性。研发性能更加优异的石英平面光波异制备工艺。石英基石英平面光波器件因其很高的可靠性和温度稳定性、与石英光纤优良的兼容性、低成本、低损耗等优异特性
目前受到人们广泛关注般认为,通过掺杂或取代,适当的改变材料化学组成可以显著地改变材料的许多物理特性,如半导体及超导材料因掺杂而引起的物性突变等.尽管材料物性的改变可能源于完全不同的机制,掺杂或取代觉也叮以随材料的不同而有相当大的变化。我们将这思路应用于石英基平面光波器件中,通过硼掺杂来增强波导的萦外光敏性,并改善器件的温度波长效应。另方面,迄今最为广泛使用的制备掺锗石英平面波导的方法有焰熔法fed和等离子化学气相沉积法。
然而,这些方法般对设各的要求很高并且制备工艺复杂,沉积温度较高。与此不同,最近笠展起来的低温低压感应祸合等离子化学气相沉积法icp-cvd 具备更通用、更灵活、沉积速率高、沉积m度低等优点,已在些领域得到很好应用石英平面光波导钊备图11.1是低温低压icp-cv-d实验装2示意图。感应偶台反应器由置于石英窗口均带有螺旋形天线的不锈钢l筒组成.劝率达1kw,频率为13. 56vihz的付频经山个阮优适配红件施加到绕组上。si02, geo.和b2伪分别由正硅酸乙醋teos、四甲械基锗烷tmog和二乙氧感硼烷mob作为原材料制得和mob的混合物和少量掌气作为源气体
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辰光技术部(www.tuliao1.com) |
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录入时间:2012-8-7 8:56:39 |
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