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水性防腐漆锈钢材质气体绝缘 |
| 来源：水性防腐漆 |
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| 但是.由于砷烷主要用于半导体工业，因此推荐采用不锈钢材质。在高纯系统中要用不锈钢减压器.由于砷烷是剧毒和可燃气体，因此使用和贮存仅可在通风的气瓶柜、排风柜或有强制通风的房间内。由于它与空气混合可形成爆炸混合气.因此应远离热浑和火源。使用前所有管线、接头、设备等应彻底检漏和接地.仅可使用防火花工具和防爆设备.运艳中钢瓶阀必须保护和密封.cga规定.装运砷烷的气瓶必须每5牟试一次水压.在砷烷气瓶上禁止使用泄压部件。
系数不大于保定红星单晶砖厂用途在微电子工业中用作化学气相淀积或离子注人形成硅化性或铁膜，制作低电阻、高熔点的电路互连线和姗极毒性与防护危险性气体。中毒时.将受害者移出污染区.保持沮吸，必要时施以人工呼吸，立即就医包装及贮运用钢瓶包装，按有毒物质运输参考生产厂家核工业理化工程研突在较有活性炭的反应炉中，缓缓通人高浓报气，通过加热器加热、供氛速率和反应护冷却来控制反应沮度.反应产品经除尘、喊洗《除hf, cof2, sif4, co2等)、脱水后可获得c3 he.然后把粗品引人低沮精馏釜中.进行间歇性精馏，通过控制精姗沮度℃).可把02,n卜h:除去.并提取高纯cf4。用液粗深冷收集于铝合金或例容器中。充瓶压力通常低于12. 5kpa，有铝合金和钢容器用途是目前做电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体.四氛甲烷高纯气及四氛甲烷高纯气配高纯权的混合气.可广泛应用于硅、二级化硅、氮化硅、确硅玻瑞及鸽等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗
太阳能电池生产、激光技术、低沮制冷、气体绝缘等方面也大漫使用毒性与防护在处理四奴甲烷过程中可按无毒或低毒气体考虑，但其与可嫩性气体a烧时，会分解产生有毒奴化物.高浓度下为窒息气体包跳及贮运四氛甲烷对金属和合金不腐蚀.可用钢瓶和铝合金容器装运，按压缩气体运翰，气瓶每s年检验一次，国外规定可以用汽车、火车、轮船、飞机运抽。国内目前无规定参考生产厂家核工业理化工程研究院、中科院上海有机化学研究所、光明化工研究设计院。
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| 辰光技术部(www.tuliao1.com) |
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录入时间：2012-6-20 9:27:17 |
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