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金刚石涂层的气体压力涂料 |
| 来源：辰光技术部 |
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| 金刚石涂层的气体压力涂料
其质量从中心到边缘有明显的差异，涂料中心质量好，生长速率高，涂层比较厚，从中心到边缘，金刚石的纯度逐渐降低，所含石墨的量逐渐增多，涂层发黑，表面粗糙。改进的直流等离子喷射法是采用一定措施产生截面柔性弧等离子矩，是弧柱直径可达30mm左右。
又通过调节工作参数，改变电弧通道材料与通道形状设计，可使等离子弧柱有直径30增加到50mm以上，热效率也大大提高，可以50um/h左右速度生长质量良好的涂料直径为50mm的金刚石涂层，如果使用高频电流使反应气体放电，则成为射频等离子体化学沉积法，这些工艺的特点是沉积温度较低，沉积速度较快可达到每小时几十微米，所沉积的面积大，然而这类设备缺点是费用高，气体和电能消耗量大合成涂层的成本较高
利用微波进行气体活化合成金刚石涂层是发展 较快而行之有效的一种工艺。该工艺的特点是分子离解，产生活性离子的效率涂料较高，电离程度在高能密度区域可达到10% 电子密度大，有利于金刚石形核，电子动能大，合成金刚石涂层的气体压力范围宽，
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| 点击数：次 |
录入时间：2011-2-9 13:13:49 |
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